반응형 일본3 반도체 공정 ETCH 장비를 경험해보지 않았습니다. 저도 공부하기 위해서 이 글을 작성하는 것이니 잘못된 부분이 있으면 알려주시면 감사하겠습니다. 출처 : RESEARCHAGATE.NET 개요 주요 구성 요소 항목 역할 비고 펌프(PUMP) FILM을 식각하기 위한 고진공 상태를 만들고 유지하는 기능 RF GENERATOR PROCESS CHAMBER 내에 주입된 GAS에 POWER를 인가하여 PLASMA를 형성하여 주는 SOURCE CHILLER ETCHING 도중에 발생하는 열을 냉각시켜 FILM 식각의 균일도 및 DAMAGE를 감소시키는 기능 HEAT CYCLE 방지 PROCESS CHAMBER 일반적으로 FILM 식각이 행해지는 반응실로 이곳에는 일정 압력이 유지되고, PLASMA에 의한 GAS들의 반응이 이.. 2023. 5. 4. 반도체 공정 ETCH 장비를 경험해보지 않았습니다. 저도 공부하기 위해서 이 글을 작성하는 것이니 잘못된 부분이 있으면 알려주시면 감사하겠습니다. 출처 : RESEARCHAGATE.NET 개요 주요 구성 요소 항목 역할 비고 펌프(PUMP) FILM을 식각하기 위한 고진공 상태를 만들고 유지하는 기능 RF GENERATOR PROCESS CHAMBER 내에 주입된 GAS에 POWER를 인가하여 PLASMA를 형성하여 주는 SOURCE CHILLER ETCHING 도중에 발생하는 열을 냉각시켜 FILM 식각의 균일도 및 DAMAGE를 감소시키는 기능 HEAT CYCLE 방지 PROCESS CHAMBER 일반적으로 FILM 식각이 행해지는 반응실로 이곳에는 일정 압력이 유지되고, PLASMA에 의한 GAS들의 반응이 이.. 2023. 5. 4. 2023년 그리고 2024년도의 달러 환율 예측 매달 달러 환율 변화 전망 년도 달 최대 최소 종료 총변화% 2023 2월 1305 1215.40 1285.70 4.4% 2023 3월 1331 1286 1311 6.4% 2023 4월 1311 1266 1285 4.3% 2023 5월 1285 1240 1259 2.2% 2023 6월 1259 1215 1234 0.2% 2023 7월 1240 1204 1222 -0.8% 2023 8월 1265 1222 1246 1.1% 2023 9월 1290 1246 1271 3.2% 2023 10월 1305 1267 1286 4.4% 2023 11월 1332 1286 1312 6.5% 2023 12월 1325 1285 1305 5.9% 2024 1월 1351 1305 1331 8.0% 2024 2월 1367 1327 .. 2023. 2. 7. 이전 1 다음 반응형
